LH1002双频激光器

LH1002双频激光器采用声光移频技术，频差稳定性高，不受温度与磁场影响，实现长期无漂移测量。出光功率0.5~1.2mW，正交线偏振无需额外起偏，非线性误差小。

多轴分光后光强低至10%仍可稳定采集，支持灵活扩展多镜组测量。波长稳定性优异、预热快，兼顾计量标定与复杂工业现场，适用于实验室及严苛环境。

产品特点

• 双频频差：20 MHz ±1600 Hz

• 光斑直径：3/6mm

• 工作波长：632.99nm

• 稳频精度： ±0.02ppm

• 设备兼容光刻机干涉仪标准安装尺寸与

      通用数据接口；

• 测速能力突出，极限测速约 6m/s，适

      配高速直线电机、晶圆台动态检测；

• 频差由AOM晶振控制，不受激光管温度、磁场影响，频差稳定性高，长期测量无频漂