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镭测科技“双折射双频激光器及干涉仪的关键和全链条技术”入选2022中国十大光学产业技术
发布时间:2023-01-30浏览次数:727


     激光干涉仪是当今纳米时代的长度基准,也是先进制造业(机床、光刻机,航空、航天等)制造精度的保证。激光干涉仪的“激光”是HeNe激光器。镭测科技研究成了“可伐-玻璃组装式”结构的HeNe激光器,打破了我国靠玻璃吹制HeNe激光器的历史。这一长期坚持的研究打通了单频氦氖激光器→双折射双频激光器→双频激光干涉仪的全技术链条,批产,获得了广泛认可。双频激光器和干涉仪已在北京镭测科技有限公司批产,并在国内外得到广泛应用。

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    双折射双频激光器不仅用于国产双频激光干涉仪,也用于运行中的光刻机的年度替换。同时,提供了科研单位的科学研究。该激光器替换进口正在服役的光刻机的原有激光器,使光刻机机台误差由24 nm下降到6 nm。中国计量科学院测试表明,此双频激光干涉仪测量70 m长度误差小于5 μm,非线性误差小于1 nm。

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来源:光电汇OESHOW    https://mp.weixin.qq.com/s/N6JePRN_Uz-oDtxX0GfNRw

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