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激光干涉仪有哪些类型?
发布时间:2021-07-05浏览次数:27

激光干涉仪有哪些类型?

小编将与您分享激光干涉仪的类型,来看看吧!

1.单频激光干涉仪

  由激光射出的光束经扩束准直后,分光镜分为固定反射镜和活动反射镜两个通道,以形成分光镜的干涉条纹。在可动反射镜运动时,干涉条纹的强度变化是通过接收端的光电转换元件和电子线路等转换成电脉冲信号,经过整形、放大,输入可动反射镜计算出总脉冲数,再由电子计算机计算出总脉冲数(N为总脉冲数),计算出可移动镜的位移L。在采用单频激光干涉仪时,大气环境处于稳定状态,各种空气湍流将导致直流电压发生变化,影响测量结果。

2.双频激光干涉仪

 双频激光干涉仪是一种基于单频激光干涉的外差干涉测量系统。

 加上约0.03特斯拉轴向磁场,氦霓虹灯激光。受塞曼分裂效应和频率拖动效应的影响,激光分别产生不同频率的极化光。用1/4波片将其转换成两条互相垂直的偏振光,再由分光镜分为两条。之后将整个偏振片变为参考光束,频率f1-f2。用偏振分光镜,另一条线分成两条通道:一条变成只有f1的光束,另一条只有f2。在可动反射镜移动时,含f2的光束经过可动反射镜的反射变成包含f2δf的光束,这是多普勒效应在可动反射镜运动时产生的额外频率,正的负数代表移动方向(奥地利人C.J.多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒效应由奥地利人C.J.多普勒效应提出,它是由奥地利人C.J.多普勒提出的。

 这种光束仅从固定镜上反射,经过偏振片2后合成f1-(f2±δf)的测量光束。通过各自的光电转换元件、放大器、整形器,光束和上述参考光束减少进入减法器,而输出仅±δf。利用计算机对可逆计数器进行等效变换(乘以1/2激光波长),可获得可动反射镜的位移。双频激光干涉仪一般采用频率变化来测量位移,这种位移信息在f1和f2的频差上表现出来,对光强变化引起的DC电平变化不敏感,因此具有较强的抗干扰能力。常用于校验长机、三坐标测量机、光刻机、加工中心等校验机的坐标精度,也可作长机、高精度三坐标测量机等测量系统。并可通过附件测量高精度、直线度、平面度和小角度。



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