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双频激光干涉仪简介
发布时间:2022-07-12浏览次数:23



随着20世纪60年代初激光的出现,几何量计量技术的发展步入了崭新的时期。双频激光干涉仪正是利用激光具有频率稳定、单色性好等优点,在几何量计量领域发挥着越来越重要的作用。双频激光干涉仪具有精度高、应用范围广、环境适应能力强、实时动态测速高等一系列无可比拟的优势,成为几何量计量活动的生力军。相比于传统的单频激光干涉仪,现代双频激光干涉仪具有更好的抗环境干扰能力,摆脱了计量室的束缚,在越来越广阔的工程测量领域大显身手。因此,双频激光干涉的发明对计量事业的发展乃至整个科学事业的发展有着举足轻重的作用。

双频激光干涉仪的发明把几何量计量发展推向了又一个高峰,双频激光干涉仪是目前精度高、量程大的长度计量仪器,以其良好的性能、在很多场合,特别是在大长度与大位移的精密测量中得到广泛应用。就长度计量而言,通常将200m以上的测量称为距离测量(Distance Measurement),3m以下的称为一般长度测量,3~200m之间的测量称为大尺寸测量(Large Dimension Measurement)[1]。双频激光干涉仪在一般长度精密测量中都有使用。双频激光干涉仪可以在恒温,恒湿,防震的计量室内检定量块,量杆,刻尺和坐标测量机等,也可以在普通车间内为大型机床的刻度进行标定,既可以对几十米的大量程进行精密测量,也可以对手表零件等微小运动进行精密测量,既可以对几何量如长度、角度.直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量,也可以用于特殊场合,诸如半导体装备的微定位(双频激光干涉仪是光刻机不可或缺的关键测量系统)和计算机存储器上记录槽间距的测量等等。不仅在单纯的长度计量领域,在其他工程技术领域,双频激光干涉仪的应用也越来越广泛,不乏一些很有创见的应用。


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