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激光干涉仪知识点介绍
发布时间:2022-07-05浏览次数:17

激光干涉仪以光波为载体,测量精度高,测量速度快,测量范围大,其光波长可直接定义为米,并可追溯到标准。所以激光干涉仪广泛应用于数控机床,精密仪器等精密仪器的质量控制和校准,以及科研开发、设备制造等领域。

激光干涉仪的工作原理

       激光干涉仪发射单频光束,光束进入线性干涉镜后,将光束分成两束,然后反射回分光镜,然后再次收集回激光干涉仪。如果不改变光程差,则在激光干涉仪和相消性干扰的两极之间找到稳定的信号。如果光程差发生变化,将计算并用于测量两个光程之间的差异。

当高压连接到阳极和阴极时,激发混合气体形成激光束,一些光通过放大激光强度传输到输出激光束。其中,为了达到平衡,激光管的长度由加热器控制,以保持激光频率的稳定精度±0.05ppm此时,激光器可以在输出稳定后进行干涉测量。现在大多数现代位移干涉仪器都使用氦霓虹灯(HeNe)激光管输出633纳米波长。

激光干涉仪的频率、功率、稳定性、可靠性、光束质量和使用寿命都与激光干涉仪的性能有关。激光干涉仪的测量精度是激光干涉仪Z的基本参数,其频率(波长)的准确性和稳定性是保证。


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